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晶圆防爆真空固化炉

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晶圆防爆真空固化炉
 

晶圆防爆真空固化炉


品牌:GYPEX英鹏
型号:ZK-固化系列
价格:电议/面议

产品用途:

    本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备,烘箱温度可达450℃

性能特点:

1.真空度可达10 Pa

2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口

3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制

4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号   ZK-固化系列                                 

内箱尺寸(H*W*D) :     20*20*40           ;30*30*60

控温范围: RT+20℃~450℃

温度波动:±0.5℃

真空度:10pa

氧含量:20ppm

内箱材质:SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质:钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料:硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置:声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

功       率: 9.0    12.0

电       源:AC380V±10%3中50HZ

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