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金昌晶圆防爆真空固化炉

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金昌晶圆防爆真空固化炉
 

产品用途:

本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备,烘箱温度可高达450℃

性能特点:

1真空度可达10 Pa

2精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口

3日本优易控触摸屏,升降温斜率控制

4内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号   ZK-固化系列                               

内箱尺寸(H*W*D)           20*20*40                            30*30*60

控温范围          RT+20℃~450℃

温度波动            ±0.5℃

真空度               10pa

氧含量              ≤20ppm

内箱材质       SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质       钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料       硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置       声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率                9.0    12.0

电源            AC380V±10%3中50HZ

 


 

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